[Depo] LPCVD vs PECVD 비교

	LPCVD	PECVD
온도	높다	낮다
진공	고진공	고진공
step coverage	높다	낮다 (LPCVD보다)
depo rate	낮다	높다
막질	높은 온도 -> 치밀한 박막	LPCVD보다 나쁨
생산 방식	batch type	single type (매엽식)
장정	고품질 막 batch방식으로 한번에 여러장 증착 가능	낮은 공정온도로 여러공정에 적용 가능 대부분의 물질 증착 가능
단점	높은 온도에 견딜 수 있는 공정만 가능	LPCVD에 비해 낮은 막 특성 공정변수의 제어가 중요 챔버 내, 기체중에서 반응이 일어나 powder 생성(오염으로 작용)

 

* PECVD가 LPCVD에 비해 막질이 떨어지는 이유

낮은 온도에서는 기판 위에 도달한 radical들이 규칙적으로 재배열하는데 필요한 surface mobility를 가지지 못해, LPCVD에 비해 박막의 물성이 떨어진다