분석장비 비교 (XRF, XPS, XRD, SPM)
XRF, XPS, XRD 비교XRFXPSXRDX-ray Fluorescene SpectroscopyX-ray photoelectron spectoscopyX-ray diffrectionX선 → 2차 X선X선 → 광전효과에 의해 검출된 광전자의 에너지X선 → 회절된 X선 에너지조성분석정량분석표면원소화학결합정량분석X선 회절무늬결정구조격자상수격자변형정량분석 SPM (Scanning Probe Microscope : 주사탐침현미경)원자, 분자 수준의 표면 계측 장비시료와 탐침을 근접시켜, 시료와 탐침 사이의 물리력을 측정(3차원 형상, 전자기적 특성, 기계적 특성, 광학적 특성) - STM (Scanning Tunneling Microscope)탐침과 전도체 시료의 표면에서 전자 터널링현상을 이용하여 ..
2022. 5. 8.
[분석장비] EDS, SEM, TEM, XRD
EDS(EDX, EDAX): Energy Dispersive Spectrometer (Energy Dispersive X-ray microanalysis)- X-ray를 활용한 원소분석기 (정성/정량 분석)- 전자를 만들어 낼 수 있는 장비에 장착하여 검출기 형태로 사용 (SEM, TEM, FIB 등 공정 및 분석장비에 장착됨) 원리1. 전류 인가에 의해 생성된 전지빔을 시료에 주사2. 시료 내부 전자가 에너지를 흡수하여 들뜬 상태가 됨3. 들뜬 전자가 안정화되면서 바닥상태로 내려오고 X선 방출4. 방출된 X선의 에너지를 측정하여, 시료의 성분 분석 SEM (Scanning Electron Microscope)전자빔을 시료표면에 주사하면, 전자빔이 시료와 충돌하여 발생한 이차전자, 반사전자, 투과전자..
2022. 5. 8.
