글쓰기 분석장비3 [분석장비] SEM, EDS 원리 EDS(EDX, EDAX) : Energy Dispersive Spectrometer (Energy Dispersive X-ray microanalysis) - X-ray를 활용한 원소분석기(정성/정량 분석) - 전자를 만들어 낼 수 있는 장비에 장착하여 검출기 형태로 사용 (SEM, TEM, FIB 등 공정 및 분석장비에 장착됨) 원리 1. 전류 인가에 의해 생성된 전지빔을 시료에 주사 2. 시료 내부 전자가 에너지를 흡수하여 들뜬 상태가 됨 3. 들뜬 전자가 안정화되면서 바닥상태로 내려오고 X선 방출 4. 방출된 X선의 에너지를 측정하여, 시료의 성분 분석 SEM (Scanning Electron Microscope) 전자빔을 시료표면에 주사하면, 전자빔이 충돌하여 발생한 이차전자, 반사전자, 투과전.. 2022. 5. 21. 분석장비 비교 XRF, XPS, XRD 비교 XRF XPS XRD X-ray Fluorescene Spectroscopy X-ray photoelectron spectoscopy X-ray diffrection X선 → 2차 X선 X선 → 광전효과에 의해 검출된 광전자의 에너지 X선 → 회절된 X선 에너지 조성분석 정량분석 표면원소 화학결합 정량분석 X선 회절무늬 결정구조 격자상수 격자변형 정량분석 SPM (Scanning Probe Microscope : 주사탐침현미경) 원자, 분자 수준의 표면계측 장비 시료와 탐침을 근접시켜, 시료와 탐침 사이의 물리력을 측정 3차원 형상, 전자기적 특성, 기계적 특성, 광학적 특성 측정 - STM (Scanning Tunneling Microscope) 탐침과 전도체 시료의 표면.. 2022. 5. 8. [분석장비] EDS, SEM, TEM, XRD EDS(EDX, EDAX) : Energy Dispersive Spectrometer (Energy Dispersive X-ray microanalysis) - X-ray를 활용한 원소분석기 (정성/정량 분석) - 전자를 만들어 낼 수 있는 장비에 장착하여 검출기 형태로 사용 (SEM, TEM, FIB 등 공정 및 분석장비에 장착됨) 원리 1. 전류 인가에 의해 생성된 전지빔을 시료에 주사 2. 시료 내부 전자가 에너지를 흡수하여 들뜬 상태가 됨 3. 들뜬 전자가 안정화되면서 바닥상태로 내려오고 X선 방출 4. 방출된 X선의 에너지를 측정하여, 시료의 성분 분석 SEM (Scanning Electron Microscope) 전자빔을 시료표면에 주사하면, 전자빔이 시료와 충돌하여 발생한 이차전자, 반사전자.. 2022. 5. 8. 이전 1 다음 반응형
