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[TFT] LTPS 제조공정 LTPS (Low Temperature Poly Silicon) TFT 비정질 실리콘(a-Si)을 결정화 하여 crystal Silicon을 만들기 위해서는 실리콘의 용융점인 1400℃ 이상의 온도가 필요하다 그러나 유리기판(700℃)이 온도를 견디지 못하기 때문에, 레이저를 사용해서 a-Si을 poly-Si으로 만든다 (ELA 방식) 이때, 공정의 온도가 500℃ 정도로 상대적으로 낮기 때문에 Low temperatur poly silicon(LTPS)라는 이름이 붙었다 LTPS 제조공정 1. Glass 세정 2. Buffer층 증착 (PECVD) 후속 공정에서 glass 내의 불순물이 Active층(Poly-Si)으로 이동하는 것을 막아줌 3. a-Si 증착 (PECVD) 4. ELA (Excimer.. 2022. 5. 19.
[TFT] a-Si, Oxide(IGZO), LTPS, LTPO 비교 TFT (Thin Film Transistor) - FET(Field Effect Transistor)의 한 종류로 특정 전압 이상이 가해지면 전류를 제어하는 스위칭소자 - LCD는 빛의 세기를 조절하기 위해 각 서브픽셀마다 1개의 tft 존새 (1t1c 구조) - OLED는 각 서브픽셀마다 구동 tft와 스위칭 tft 존재 (2t1c 구조) - 채널반도체(활성층)의 종류에 따라 a-Si, Oxide, LTPS로 나뉨 a-Si TFT Oxide(IGZO) TFT LTPS TFT 전하이동도 0.5 ~ 1 cm2/ Vs 1 ~ 40 cm2/ Vs 10 ~ 500 cm2/ Vs 생산균일성 우수 양호 불량 비용 낮음 보통 높음 활용 범용 LCD 대형 LCD 대형 OLED 소형 LCD 소형 OLED 장점 낮은 공.. 2022. 5. 5.
[LCD] 액정 구동 방식 - TN, VA, IPS TN (Twist Nematic) VA (Vertical Alignment) IPS (In Plane Switching) 색감 보통 좋음 좋음 시야각 좁음 넓음 매우 넓음 명암비 보통 매우 좋음 좋음 응답속도 빠름 느림 보통 액정 배열 기판에 수평배열 기판에 수직배열 기판에 수평배열 동작모드 전압 인가 시 빛 차단 전압 인가 시 빛 차단 전압 인가 시 빛 통과 (Normally Black) 장점 저전력 고생산성 빠른 응답속도 높은 명암비 커브드 구현 광시야각 측면 시인성 빠른 응답속도 단점 낮은 광시야각 낮은 응답속도 잔상 화면 터치 시, 액정 복원력이 떨어짐 백라이트 빛 손실로 블랙 표현시 VA보나 낮음 구조 2022. 5. 5.
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