글쓰기 tft2 [TFT] LTPS 제조공정 LTPS (Low Temperature Poly Silicon) TFT 비정질 실리콘(a-Si)을 결정화 하여 crystal Silicon을 만들기 위해서는 실리콘의 용융점인 1400℃ 이상의 온도가 필요하다 그러나 유리기판(700℃)이 온도를 견디지 못하기 때문에, 레이저를 사용해서 a-Si을 poly-Si으로 만든다 (ELA 방식) 이때, 공정의 온도가 500℃ 정도로 상대적으로 낮기 때문에 Low temperatur poly silicon(LTPS)라는 이름이 붙었다 LTPS 제조공정 1. Glass 세정 2. Buffer층 증착 (PECVD) 후속 공정에서 glass 내의 불순물이 Active층(Poly-Si)으로 이동하는 것을 막아줌 3. a-Si 증착 (PECVD) 4. ELA (Excimer.. 2022. 5. 19. [TFT] a-Si, Oxide(IGZO), LTPS, LTPO 비교 TFT (Thin Film Transistor) - FET(Field Effect Transistor)의 한 종류로 특정 전압 이상이 가해지면 전류를 제어하는 스위칭소자 - LCD는 빛의 세기를 조절하기 위해 각 서브픽셀마다 1개의 tft 존새 (1t1c 구조) - OLED는 각 서브픽셀마다 구동 tft와 스위칭 tft 존재 (2t1c 구조) - 채널반도체(활성층)의 종류에 따라 a-Si, Oxide, LTPS로 나뉨 a-Si TFT Oxide(IGZO) TFT LTPS TFT 전하이동도 0.5 ~ 1 cm2/ Vs 1 ~ 40 cm2/ Vs 10 ~ 500 cm2/ Vs 생산균일성 우수 양호 불량 비용 낮음 보통 높음 활용 범용 LCD 대형 LCD 대형 OLED 소형 LCD 소형 OLED 장점 낮은 공.. 2022. 5. 5. 이전 1 다음 반응형
