분석장비 비교

XRF, XPS, XRD 비교

XRF	XPS	XRD
X-ray Fluorescene Spectroscopy	X-ray photoelectron spectoscopy	X-ray diffrection
X선 → 2차 X선	X선 → 광전효과에 의해 검출된 광전자의 에너지	X선 → 회절된 X선 에너지
조성분석 정량분석	표면원소 화학결합 정량분석	X선 회절무늬 결정구조 격자상수 격자변형 정량분석

 

SPM (Scanning Probe Microscope : 주사탐침현미경)

원자, 분자 수준의 표면계측 장비

시료와 탐침을 근접시켜, 시료와 탐침 사이의 물리력을 측정

3차원 형상, 전자기적 특성, 기계적 특성, 광학적 특성 측정

 

- STM (Scanning Tunneling Microscope)

탐침과 전도체 시료의 표면에서 전자 터널링현상을 이용하여 얻어진 tunneling current를 측정하여 시료의 형상 분석

- AFM (Atomic Force Microscope)

STM이 발전된 형태로, 캔틸리버 끝에 달린 탐침을 시료에 근접시켜 시료와 탐침 사이의 원자간력(인력, 척력)을 측정하여 시료의 3차원 형상을 얻어냄

- EFM (Electrostatic Force Microscope)

금속탐침과 시료사이에 전압을 가해 시료와 탐침 사이 정전기력을 측정하여 시료의 전기적 특성(표면전하, 전위, 반도체 불순물 농도, 정전용량)을 분석

- MFM (Magnetic Force Microscope) 

자성을 띤 탐침(Co, Ni)에서 발생하는 자기장과 자성시료에서 발생하는 자기장의 쌍극자 상호작용력을 측정하여 시료 표면의 자기정보 측정