[Photo] Positive PR, Negative PR

PR(Photo Resist)

빛활성제(PAC), 수지(Resin), 솔벤트로 구성된 감광성 고분자 물질

빛을 받으면 딱딱해지거나, 녹기 쉽게 변하는 특성을 이용해, 약해진 부분만 선택적으로 제거함으로써, 미세패턴을 구현하는 photo공정에서 사용

 

Positive PR (대부분의 공정에서 사용)

- 빛은 받은 부분의 결합이 약해짐

- 빛은 받은 부분 현상

- 높은 해상도

 

 

Negative PR

- 빛을 받은 부분의 결합이 강해짐

- 빛을 받지 않은 부분 현상

- 낮은 해상도

결합이 약해진 부분을 제거하는 현상과정에서, 현상액이 침투해 패턴이 부풀어오르는 Swelling 현상으로 미세패턴 구현이 어려움

 

	Positive	Negative
해상도	높음	낮음
step coverage	높음	낮음
현상액	수용성	유기용액
실리콘 부착력	보통	높음
비용	비쌈	쌈